書誌事項
- タイトル別名
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- ハンドウタイ セイゾウ ライン ニ オケル ジキ トンネル セツゴウ ノ セイマク ト ビサイ カコウ プロセス
- Deposition and micro-fabrication processes for magnetic tunnel junctions in semiconductor manufacturing lines
- 特集 磁気と半導体の出会いがしら
- トクシュウ ジキ ト ハンドウタイ ノ デアイガシラ
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収録刊行物
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- まぐね = Magnetics Japan
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まぐね = Magnetics Japan 2 (7), 358-363, 2007
東京 : 日本応用磁気学会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1522262181020918656
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- NII論文ID
- 10019742102
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- NII書誌ID
- AA1211610X
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- ISSN
- 18807208
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- NDL書誌ID
- 8884867
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM35(科学技術--物理学)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles