スペックル干渉法を用いた回折限界を超えた三次元形状測定におけるゼロ次回折ビームの位相分布電磁場シミュレーション
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- スペックル カンショウホウ オ モチイタ カイセツ ゲンカイ オ コエタ サンジゲン ケイジョウ ソクテイ ニ オケル ゼロジ カイセツ ビーム ノ イソウ ブンプ デンジバ シミュレーション
- Phase distribution electro-magnetic field simulation of zeroth-order diffraction beam in three-dimensional shape measurement beyond diffraction limit using speckle interferometry
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- 光計測シンポジウム論文集
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光計測シンポジウム論文集 13-16, 2019
東京 : 日本光学測定機工業会