Miniaturization of surface patterns by combination of contact etching lithography and multi-step shrinking of stretched polymer films
書誌事項
- タイトル別名
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- Miniaturization of surface patterns by combination of contact etching lithography and multi step shrinking of stretched polymer films
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収録刊行物
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- Polymer journal / Society of Polymer Science, Japan
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Polymer journal / Society of Polymer Science, Japan 40 (6), 534-537, 2008
Tokyo : Springer Nature
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1522543654565865216
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- NII論文ID
- 10021118095
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- NII書誌ID
- AA00777013
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- ISSN
- 00323896
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- NDL書誌ID
- 9528927
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- 本文言語コード
- en
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- NDL 雑誌分類
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- ZP16(科学技術--化学・化学工業--高分子化学・高分子化学工業)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles