2次元ボルツマン輸送方程式を適用したイオン注入解析
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- Other Title
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- 2ジゲン ボルツマン ユソウ ホウテイシキ オ テキヨウシタ イオン チュウニ
- 半導体デバイスシミュレーション小特集
- ハンドウタイ デバイス シミュレーション ショウ トクシュウ
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資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト
コレクション : 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 雑誌
Journal
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- 電子通信学会論文誌. C = The Transactions of the Institute of Electronics and Communication Engineers of Japan / 電子通信学会 編
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電子通信学会論文誌. C = The Transactions of the Institute of Electronics and Communication Engineers of Japan / 電子通信学会 編 67 (11), p847-854, 1984-11
東京 : 電子通信学会
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1522543654600107392
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- NII Article ID
- 40002556483
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- NII Book ID
- AN00153304
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- ISSN
- 03736113
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- NDL BIB ID
- 3006245
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- Data Source
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- NDL Search
- CiNii Articles
