半導体製造用短波長光源 : エキシマレーザーからLPP-EUV光源への挑戦
書誌事項
- タイトル別名
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- ハンドウタイ セイゾウヨウ タンハチョウ コウゲン : エキシマレーザー カラ LPP-EUV コウゲン エ ノ チョウセン
- Short wavelength light source for semiconductor manufacturing : Challenge from excimer laser to LPP-EUV light source
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収録刊行物
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- Komatsu technical report
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Komatsu technical report 62 (169), 27-37, 2016
東京 : コマツ開発本部
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1522543654906103552
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- NII論文ID
- 40021173160
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- NII書誌ID
- AN10354390
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- ISSN
- 0916796X
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- NDL書誌ID
- 028132736
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN11(科学技術--機械工学・工業)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles
