SPD法によるTiO2薄膜の形成と表面形態制御の試み
書誌事項
- タイトル別名
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- SPDホウ ニ ヨル TiO2 ハクマク ノ ケイセイ ト ヒョウメン ケイタイ セイギョ ノ ココロミ
- SPD法による化合物半導体薄膜の形成
- SPDホウ ニ ヨル カゴウブツ ハンドウタイ ハクマク ノ ケイセイ
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抄録
資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト
収録刊行物
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- 機能材料
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機能材料 20 (3), 14-20, 2000-03
東京 : シーエムシー出版
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1522543655278741504
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- NII論文ID
- 40004422002
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- NII書誌ID
- AN00360069
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- ISSN
- 02864835
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- NDL書誌ID
- 4984712
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM16(科学技術--科学技術一般--工業材料・材料試験)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles
