書誌事項
- タイトル別名
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- MEMS スキャナ ニ ヨル コガタ 3ジゲン ケイソク システム
- 3D profile measurement system using a MEMS scanner
- 特集 光MEMSの現状と展望
- トクシュウ ヒカリ MEMS ノ ゲンジョウ ト テンボウ
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収録刊行物
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- 光アライアンス / 光アライアンス編集委員会 編
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光アライアンス / 光アライアンス編集委員会 編 18 (12), 6-8, 2007-12
東京 : 日本工業出版
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1522543655446663552
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- NII論文ID
- 40016774130
- 40015725679
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- NII書誌ID
- AA11758790
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- ISSN
- 0917026X
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles