大型ガラス基板用ストッカ内の気流変動と汚染の対策に関する検討
Bibliographic Information
- Other Title
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- オオガタ ガラス キバンヨウ ストッカ ナイ ノ キリュウ ヘンドウ ト オセン ノ タイサク ニ カンスル ケントウ
- Countermeasure to the airflow fluctuation and the contamination in clean stockers used for large-scale glass substrates
- 特集 工業用クリーンルームの最新動向
- トクシュウ コウギョウヨウ クリーンルーム ノ サイシン ドウコウ
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- 空気清浄 : コンタミネーションコントロール
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空気清浄 : コンタミネーションコントロール 49 (2), 16-24, 2011
東京 : 日本空気清浄協会
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Keywords
Details 詳細情報について
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- CRID
- 1522543655518599168
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- NII Article ID
- 10029530855
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- NII Book ID
- AN00065670
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- ISSN
- 00235032
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- NDL BIB ID
- 11210263
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZN1(科学技術--建設工学・建設業)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles