スパッタ電源用アークエネルギー抑制ユニット GEXUS-ARC
書誌事項
- タイトル別名
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- スパッタ デンゲンヨウ アークエネルギー ヨクセイ ユニット GEXUS ARC
- GEXUS-ARC energy suppressor unit for sputtering
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収録刊行物
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- オリジンテクニカルジャーナル = Origin technical journal
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オリジンテクニカルジャーナル = Origin technical journal (72), 2009-10
東京 : オリジン電気