スパッタ電源用アークエネルギー抑制ユニット GEXUS-ARC

詳細情報 詳細情報について

• CRID

  1522543655527618944

• NII論文ID

  40016858273

• ISSN

  18833861

• NDL書誌ID

  10456632

• Web Site

  http://id.ndl.go.jp/bib/10456632

  https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I10456632

• 本文言語コード

  ja

• NDL 雑誌分類

  • ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)

• データソース種別

  • NDL
  • CiNii Articles