サスティナビリティ社会に向けたMEMS
書誌事項
- タイトル別名
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- サスティナビリティ シャカイ ニ ムケタ MEMS
- 特集 応用分野を拡大するマイクロマシン製品/MEMS技術
- トクシュウ オウヨウ ブンヤ オ カクダイ スル マイクロマシン セイヒン MEMS ギジュツ
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収録刊行物
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- 電子材料
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電子材料 49 (7), 22-27, 2010-07
東京 : 工業調査会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1522543655838932992
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- NII論文ID
- 40018720215
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- NII書誌ID
- AN00153166
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- ISSN
- 03870774
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- NDL書誌ID
- 11011217
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- データソース種別
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- NDLサーチ
- CiNii Articles