酸化チタン光触媒を用いた光リソグラフィー技術の応用
書誌事項
- タイトル別名
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- サンカ チタン ヒカリ ショクバイ オ モチイタ ヒカリ リソグラフィー ギジュツ ノ オウヨウ
- マテリアルフォーカス:エレナノ 新しい光触媒マテリアルの開発とエレクトロニクス分野への用途展開
- マテリアルフォーカス エレナノ アタラシイ ヒカリ ショクバイ マテリアル ノ カイハツ ト エレクトロニクス ブンヤ エ ノ ヨウト テンカイ
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抄録
コレクション : 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 雑誌
収録刊行物
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- Material stage / 技術情報協会 編
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Material stage / 技術情報協会 編 10 (4), 54-57, 2010-07
東京 : 技術情報協会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1522543655960283264
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- NII論文ID
- 40017225808
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- NII書誌ID
- AA1267241X
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- ISSN
- 13463926
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- NDL書誌ID
- 10771546
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM16(科学技術--科学技術一般--工業材料・材料試験)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles