High-k/メタルゲートが量産へ一歩前進
書誌事項
- タイトル別名
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- High k メタル ゲート ガ リョウサン エ イッポ ゼンシン
- High-k/metal gates prepare for high-volume manufacturing
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収録刊行物
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- Semiconductor international. 日本版
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Semiconductor international. 日本版 5 (1), 20-27, 2008-01
東京 : リード・ビジネス・インフォメーション