小特集「反応性スパッタリングとターゲット」
Bibliographic Information
- Other Title
-
- ショウトクシュウ ハンノウセイ スパッタリング ト ターゲット
Search this article
Journal
-
- 真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan
-
真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan 43 (8), 767-789, 2000-08
東京 : 日本真空協会
- Tweet
Details 詳細情報について
-
- CRID
- 1522825129597904640
-
- NII Article ID
- 40001884227
-
- NII Book ID
- AN00119871
-
- ISSN
- 05598516
-
- NDL BIB ID
- 5476031
-
- Text Lang
- ja
-
- NDL Source Classification
-
- ZN15(科学技術--機械工学・工業--流体機械)
-
- Data Source
-
- NDL
- CiNii Articles