マイクロマシン・MEMSの研究動向--ナノ微細加工からセンサやバイオへの応用まで
書誌事項
- タイトル別名
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- マイクロマシン MEMS ノ ケンキュウ ドウコウ ナノ ビサイ カコウ カラ センサ ヤ バイオ エノ オウヨウ マデ
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収録刊行物
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- 電氣評論 = Electrical review
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電氣評論 = Electrical review 92 (7), 7-11, 2007-07
京都 : 電気評論社
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1522825129629389696
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- NII論文ID
- 40015558730
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- NII書誌ID
- AN00152651
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- ISSN
- 02855860
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- NDL書誌ID
- 8887397
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles