薄膜の結晶構造解析技術--In-Plane X線回折法および電子線後方散乱回折像
書誌事項
- タイトル別名
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- ハクマク ノ ケッショウ コウゾウ カイセキ ギジュツ In Plane Xセン カイセツホウ オヨビ デンシセン コウホウ サンラン カイセツゾウ
- Crystal structure analysis of thin film: grazing incidence in-plane X-ray diffraction and electron backscattering diffraction profile
- 特集 解析・評価技術
- トクシュウ カイセキ ヒョウカ ギジュツ
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収録刊行物
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- 富士時報 = Fuji electric journal
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富士時報 = Fuji electric journal 80 (3), 186-190, 2007-05
東京 : 富士電機技術開発本部 ; [1935]-2012
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1522825129783969792
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- NII論文ID
- 40015559858
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- NII書誌ID
- AN00217950
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- ISSN
- 03673332
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- NDL書誌ID
- 8881257
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles