特集 極薄ウェーハ&チップ薄片化
書誌事項
- タイトル別名
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- トクシュウ ゴクウス ウェーハ チップ ハクヘンカ
- Feature: Extreme thin wafer/chip technology
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抄録
記事種別: 特集
収録刊行物
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- Electronic journal
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Electronic journal (187), 72-77, 2009-10
東京 : 電子ジャーナル