位相変調型微分干渉顕微鏡を用いた高精度段差計測
書誌事項
- タイトル別名
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- イソウ ヘンチョウガタ ビブン カンショウ ケンビキョウ オ モチイタ コウセイド ダンサ ケイソク
- 特集 最近の光計測検査技術
- トクシュウ サイキン ノ ヒカリ ケイソク ケンサ ギジュツ
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収録刊行物
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- O plus E : Optics + electronics
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O plus E : Optics + electronics 23 (12), 1455-1459, 2001-12
東京 : アドコム・メディア
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1522825130693156224
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- NII論文ID
- 40004576057
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- NII書誌ID
- AN00360954
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- ISSN
- 09115943
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- NDL書誌ID
- 5996814
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles