自己組織化材料の半導体微細パターニングへの応用
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- Other Title
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- ジコ ソシキカ ザイリョウ ノ ハンドウタイ ビサイ パターニング エ ノ オウヨウ
- Application of Self-Assembly Materials to Semiconductor Patterning
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Journal
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- JSRテクニカルレビュー = JSR technical review / JSR株式会社研究開発部 編
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JSRテクニカルレビュー = JSR technical review / JSR株式会社研究開発部 編 (119), 7-13, 2012-03
東京 : JSR広報部
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1522825130877275776
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- NII Article ID
- 40020645850
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- NII Book ID
- AA11131414
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- ISSN
- 09167129
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- NDL BIB ID
- 026857446
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZP17(科学技術--化学・化学工業--高分子化学・高分子化学工業--ゴム・プラスチックス)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles