超高密度・極微細シリコンナノドットの形成技術とメモリ特性

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タイトル別名
  • チョウコウミツド ゴク ビサイ シリコンナノドット ノ ケイセイ ギジュツ ト メモリ トクセイ
  • 特集1 次世代不揮発メモリーの開発・高集積化とその市場
  • トクシュウ 1 ジセダイ フキハツ メモリー ノ カイハツ コウシュウセキカ ト ソノ シジョウ

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抄録

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