スパッタリング外部電極膜の製造条件最適化
書誌事項
- タイトル別名
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- スパッタリング ガイブ デンキョク マク ノ セイゾウ ジョウケン サイテキカ
- Optimization of manufacturing conditions for sputtering external electrode
- 第17回品質工学研究発表大会 技術者パワーを発揮させる品質工学
- ダイ17カイ ヒンシツ コウガク ケンキュウ ハッピョウ タイカイ ギジュツシャ パワー オ ハッキ サセル ヒンシツ コウガク
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収録刊行物
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- 品質工学研究発表大会論文集 = QEF / 品質工学研究発表大会実行委員会 編
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品質工学研究発表大会論文集 = QEF / 品質工学研究発表大会実行委員会 編 17 382-385, 2009
東京 : 品質工学フォーラム
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1522825130987724416
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- NII論文ID
- 40017238881
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- NII書誌ID
- BA86557143
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- ISSN
- 21897913
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- NDL書誌ID
- 10782794
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM5(科学技術--科学技術一般--工学・工業)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles