電磁力式微小力発生装置によるピエゾ抵抗式力計の評価
書誌事項
- タイトル別名
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- デンジリョク シキビ コジカラ ハッセイ ソウチ ニ ヨル ピエゾ テイコウシキリョクケイ ノ ヒョウカ
- Evaluation of piezoresistive force transducer by electromagnetic force type microforce generating machine
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収録刊行物
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- センシングフォーラム資料
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センシングフォーラム資料 38 37-41, 2021-09-29
東京 : 計測自動制御学会計測部門