半導体におけるフッ素樹脂の展開 : New PFA,Super PFAに続く次世代PFAの開発
書誌事項
- タイトル別名
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- ハンドウタイ ニ オケル フッソ ジュシ ノ テンカイ : New PFA,Super PFA ニ ツズク ジセダイ PFA ノ カイハツ
- 特集 半導体・エレクトロニクス材料
- トクシュウ ハンドウタイ ・ エレクトロニクス ザイリョウ
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収録刊行物
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- Polyfile = ポリファイル : 高分子関連技術情報誌
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Polyfile = ポリファイル : 高分子関連技術情報誌 39 (5), 24-27, 2002-05
東京 : 大成社
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1523106604723578624
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- NII論文ID
- 40019843659
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- NII書誌ID
- AN10153107
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- ISSN
- 09102175
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- NDL書誌ID
- 024958830
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZP16(科学技術--化学・化学工業--高分子化学・高分子化学工業)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles