超音波半導体検査装置(P-SAT)--開発コンセプトは、"使う側に立った簡単操作"
書誌事項
- タイトル別名
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- チョウオンパ ハンドウタイ ケンサ ソウチ P SAT カイハツ コンセプト ワ ツカウ ガワ ニ タッタ カンタン ソウサ
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説明
資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト
コレクション : 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 雑誌
収録刊行物
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- 超音波techno / 超音波techno編集部 編
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超音波techno / 超音波techno編集部 編 12 (3), 61-65, 2000-03
東京 : 日本工業出版
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1523106604748103424
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- NII論文ID
- 40004832521
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- NII書誌ID
- AN10068970
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- ISSN
- 09162410
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- NDL書誌ID
- 5284568
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM17(科学技術--科学技術一般--力学・応用力学)
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- データソース種別
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- NDLサーチ
- CiNii Articles