微細化するシステムLSI向け低衝撃・高速微小バンプ形成技術
Bibliographic Information
- Other Title
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- ビサイカ スル システム LSI ムケ テイショウゲキ コウソク ビショウ バンプ ケイセイ ギジュツ
- 特集 生産技術--21世紀「超・製造業」の実現に向けて ; 超微細加工技術
- トクシュウ セイサン ギジュツ 21セイキ チョウ セイゾウギョウ ノ ジツゲン ニ ムケテ ; チョウビサイ カコウ ギジュツ
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Journal
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- Matsushita technical journal
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Matsushita technical journal 47 (3), 205-209, 2001-06
守口 : 松下電器産業コーポレートR&D戦略室
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1523106604825859968
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- NII Article ID
- 40005195448
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- NII Book ID
- AA11187758
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- ISSN
- 13439529
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- NDL BIB ID
- 5798983
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles
