オゾンを利用したホット粒子の発生と酸化物薄膜形成への応用
Bibliographic Information
- Other Title
-
- オゾン オ リヨウシタ ホット リュウシ ノ ハッセイ ト サンカブツ ハクマ
- 活性粒子による新表層材料創製の研究<特集>
- カッセイ リュウシ ニ ヨル シン ヒョウソウ ザイリョウ ソウセイ ノ ケン
Search this article
Abstract
資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト
Journal
-
- 電子技術総合研究所彙報 / 電子技術総合研究所 編
-
電子技術総合研究所彙報 / 電子技術総合研究所 編 57 (4), p300-313, 1993-04
つくば : 電子技術総合研究所
- Tweet
Details 詳細情報について
-
- CRID
- 1523106604843840256
-
- NII Article ID
- 40002543794
-
- NII Book ID
- AN00152902
-
- ISSN
- 03669092
-
- NDL BIB ID
- 3823982
-
- Text Lang
- ja
-
- NDL Source Classification
-
- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
-
- Data Source
-
- NDL
- CiNii Articles
