シリコンレゾナント気圧センサの高分解能化
書誌事項
- タイトル別名
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- シリコンレゾナント キアツ センサ ノ コウブンカイ ノウゲ
- Development of High-resolution Silicon Resonant Atmospheric Pressure Sensor
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収録刊行物
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- 横河技報 = Yokogawa technical report
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横河技報 = Yokogawa technical report 60 (1), 39-42, 2017
武蔵野 : 横河電機マーケティング本部
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1523106604859420160
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- NII論文ID
- 40021288201
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- NII書誌ID
- AN00246267
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- ISSN
- 05135532
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- NDL書誌ID
- 028447481
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
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- データソース種別
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- NDLサーチ
- CiNii Articles
