レーザー顕微鏡と光干渉法を組み合わせたミクロンサイズ薄膜厚さ変化測定の試み
書誌事項
- タイトル別名
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- レーザー ケンビキョウ ト ヒカリ カンショウホウ オ クミアワセタ ミクロンサイズ ハクマク アツサ ヘンカ ソクテイ ノ ココロミ
- 特集 高機能材料の開発を支える分析技術,試験方法
- トクシュウ コウキノウ ザイリョウ ノ カイハツ オ ササエル ブンセキ ギジュツ,シケン ホウホウ
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収録刊行物
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- Polyfile = ポリファイル : 高分子関連技術情報誌
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Polyfile = ポリファイル : 高分子関連技術情報誌 43 (10), 30-35, 2006-10
東京 : 大成社
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1523106605032505472
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- NII論文ID
- 40019843653
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- NII書誌ID
- AN10153107
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- ISSN
- 09102175
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- NDL書誌ID
- 024958823
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZP16(科学技術--化学・化学工業--高分子化学・高分子化学工業)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles