熔融石英ガラス中の欠陥によるプラズマエッチング時の発塵への影響
書誌事項
- タイトル別名
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- ヨウユウ セキエイ ガラスチュウ ノ ケッカン ニ ヨル プラズマ エッチングジ ノ ハツジン エノ エイキョウ
- Defects in fused silica glass and their influence on particle formation during plasma etching
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説明
コレクション : 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他
収録刊行物
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- 東ソー研究・技術報告 = Tosoh research & technology review / 東ソー株式会社東ソー研究・技術報告編集委員会 編
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東ソー研究・技術報告 = Tosoh research & technology review / 東ソー株式会社東ソー研究・技術報告編集委員会 編 51 (88), 3-7, 2007
周南 : 東ソー
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1523106605138277888
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- NII論文ID
- 40015777323
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- NII書誌ID
- AA11500962
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- ISSN
- 13463039
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- NDL書誌ID
- 9318206
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZP8(科学技術--化学・化学工業--無機化学・無機化学工業)
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- データソース種別
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- NDLサーチ
- CiNii Articles