N₂-CO熱処理を用いたサファイア基板上への高品質AlN膜の作製
書誌事項
- タイトル別名
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- N ₂-CO ネツ ショリ オ モチイタ サファイア キバン ジョウ エ ノ コウヒンシツ AlNマク ノ サクセイ
- Fabrication of High-Quality AlN Film on Sapphire Using N₂-CO Annealing
- 特集 深紫外LEDの効率向上と市場展開への期待
- トクシュウ シンシガイ LED ノ コウリツ コウジョウ ト シジョウ テンカイ エ ノ キタイ
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収録刊行物
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- Optronics : 光技術コーディネートジャーナル
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Optronics : 光技術コーディネートジャーナル 34 (11), 92-95, 2015-11
東京 : オプトロニクス社
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1523106605275778816
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- NII論文ID
- 40020647001
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- NII書誌ID
- AN00360965
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- ISSN
- 02869659
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- NDL書誌ID
- 026860129
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles