組み込みOPCが、DUVレーザーでの65/45nmマスク描画を可能にする
書誌事項
- タイトル別名
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- クミコミ OPC ガ DUV レーザー デノ 65 45nm マスク ビョウガ オ カノウ ニ スル
- Embedded OPC extends laser mask writers to 65/45nm
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収録刊行物
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- Semiconductor international. 日本版
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Semiconductor international. 日本版 5 (4), 14-19, 2008-04
東京 : リード・ビジネス・インフォメーション