再録 ガラス研磨用スラリーでの異物粒子の非接触フィルタリング : 超音波による粗大ガラス粒子の抽出除去

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  • Non-contact filtering of alien particles from slurry for glass polishing : Extraction and removal by ultrasound of coarse glass particles from cerium oxide-based polishing slurry

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