Source of surface morphological defects formed on 4H-SiC homoepitaxial films

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  • Source of surface morphological defects formed on 4H SiC homoepitaxial films
  • 4H-SiCホモエピタキシャル膜上に形成した表面形態欠陥の源

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  • 技研所報

    技研所報 43 (2), 92-98, 2007-07

    東久留米 : 機械振興協会技術研究所

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