Source of surface morphological defects formed on 4H-SiC homoepitaxial films
書誌事項
- タイトル別名
-
- Source of surface morphological defects formed on 4H SiC homoepitaxial films
- 4H-SiCホモエピタキシャル膜上に形成した表面形態欠陥の源
この論文をさがす
収録刊行物
-
- 技研所報
-
技研所報 43 (2), 92-98, 2007-07
東久留米 : 機械振興協会技術研究所
- Tweet
キーワード
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1523388078282013952
-
- NII論文ID
- 40015624678
-
- NII書誌ID
- AN00050899
-
- ISSN
- 0289243X
-
- NDL書誌ID
- 8930095
-
- 本文言語コード
- en
-
- NDL 雑誌分類
-
- ZM5(科学技術--科学技術一般--工学・工業)
-
- データソース種別
-
- NDLサーチ
- CiNii Articles
