位相シフト干渉法による非接触表面粗さ測定--(米)WYKO社製TOPO表面粗さ計
Bibliographic Information
- Other Title
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- イソウ シフト カンショウホウ ニ ヨル ヒ セッショク ヒョウメン アラサ
- オプトメカトロニクス時代の超精密切削技術 ; 超精密切削面測定装置(付属資料)
- オプトメカトロニクス ジダイ ノ チョウ セイミツ セッサク ギジュツ ; チョウ セイミツ セッサクメン ソクテイ ソウチ フゾク シリョウ
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Abstract
資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト
Journal
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- 光技術コンタクト = Optical and electro-optical engineering contact
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光技術コンタクト = Optical and electro-optical engineering contact (臨時増刊), p299-307, 1991-09
東久留米 : 光学工業技術協会
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1523388079550015488
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- NII Article ID
- 40004641488
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- NII Book ID
- AN10075091
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- ISSN
- 09137289
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- NDL BIB ID
- 3807662
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZM35(科学技術--物理学)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles
