300mmウェハ対応M&Mソリューション--ArFスキャナ「FPA-5000 AS3」,KrFスキャナ「FPA-5000 ES4」,i-lineステッパ「FPA-5500 iZ」
書誌事項
- タイトル別名
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- 300mm ウェハ タイオウ M Mソリューション ArF スキャナ FPA 5000AS3 KrF スキャナ FPA 5000ES4 i line ステッパ FPA 5500iZ
- 全冊特集 実用化段階を迎えた130nm/300mm対応半導体製造装置
- ゼン サツ トクシュウ ジツヨウカ ダンカイ オ ムカエタ 130nm 300mm タイオウ ハンドウタイ セイゾウ ソウチ
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収録刊行物
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- 電子材料
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電子材料 41 (3), 60-65, 2002-03
東京 : 工業調査会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1523388079909117440
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- NII論文ID
- 40002547842
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- NII書誌ID
- AN00153166
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- ISSN
- 03870774
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- NDL書誌ID
- 6091151
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- データソース種別
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- NDLサーチ
- CiNii Articles
