超音波デバイス AlN/ダイヤモンド構造SAWフィルタ--SHF帯低損失SAWフィルタの実現にむけて

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  • チョウオンパ デバイス AlN/ダイヤモンド コウゾウ SAW フィルタ--SHFタイ テイソンシツ SAW フィルタ ノ ジツゲン ニ ムケテ

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