ヘリウムリークディテクタの最新動向と課題
書誌事項
- タイトル別名
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- ヘリウムリークディテクタ ノ サイシン ドウコウ ト カダイ
- 特集 真空技術の最新動向
- トクシュウ シンクウ ギジュツ ノ サイシン ドウコウ
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抄録
資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト
収録刊行物
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- 電子材料
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電子材料 35 (11), 42-47, 1996-11
東京 : 工業調査会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1523388080635210112
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- NII論文ID
- 40002546283
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- NII書誌ID
- AN00153166
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- ISSN
- 03870774
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- NDL書誌ID
- 4066813
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles