DLC薄膜のガスバリヤ特性を利用した実用化現状 : 大気圧プラズマ法による高機能薄膜の低コスト大面積化と実用化

Bibliographic Information

Other Title
  • DLC ハクマク ノ ガスバリヤ トクセイ オ リヨウ シタ ジツヨウ ケゲンジョウ : タイキアツ プラズマホウ ニ ヨル コウキノウ ハクマク ノ テイコスト ダイ メンセキカ ト ジツヨウカ
  • 実用化特集(1)
  • ジツヨウカ トクシュウ(1)

Search this article

Journal

Details 詳細情報について

Report a problem

Back to top