DLC薄膜のガスバリヤ特性を利用した実用化現状 : 大気圧プラズマ法による高機能薄膜の低コスト大面積化と実用化
書誌事項
- タイトル別名
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- DLC ハクマク ノ ガスバリヤ トクセイ オ リヨウ シタ ジツヨウ ケゲンジョウ : タイキアツ プラズマホウ ニ ヨル コウキノウ ハクマク ノ テイコスト ダイ メンセキカ ト ジツヨウカ
- 実用化特集(1)
- ジツヨウカ トクシュウ(1)
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収録刊行物
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- New diamond = ニューダイヤモンド / ニューダイヤモンドフォーラム 編
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New diamond = ニューダイヤモンド / ニューダイヤモンドフォーラム 編 29 (1), 35-39, 2013-01
東京 : ニューダイヤモンドフォーラム
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1523388080640145280
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- NII論文ID
- 40019574233
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- NII書誌ID
- AN1020856X
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- ISSN
- 13404792
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- NDL書誌ID
- 024257514
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZP9(科学技術--化学・化学工業--無機化学・無機化学工業--セラミックス・窯業)
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- データソース種別
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- NDLサーチ
- CiNii Articles