DLC薄膜のガスバリヤ特性を利用した実用化現状 : 大気圧プラズマ法による高機能薄膜の低コスト大面積化と実用化

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タイトル別名
  • DLC ハクマク ノ ガスバリヤ トクセイ オ リヨウ シタ ジツヨウ ケゲンジョウ : タイキアツ プラズマホウ ニ ヨル コウキノウ ハクマク ノ テイコスト ダイ メンセキカ ト ジツヨウカ
  • 実用化特集(1)
  • ジツヨウカ トクシュウ(1)

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