スパッタ法による強誘電体薄膜形成技術
Bibliographic Information
- Other Title
-
- スパッタホウ ニ ヨル キョウ ユウデンタイ ハクマク ケイセイ ギジュツ
- 特集 共用施設によるナノ・マイクロ加工技術とイノベーション
- トクシュウ キョウヨウ シセツ ニ ヨル ナノ ・ マイクロ カコウ ギジュツ ト イノベーション
Search this article
Journal
-
- 金属
-
金属 87 (12), 1009-1015, 2017-12
東京 : アグネ技術センター
- Tweet
Details 詳細情報について
-
- CRID
- 1523388080651318784
-
- NII Article ID
- 40021392354
-
- NII Book ID
- AN00272132
-
- ISSN
- 03686337
-
- NDL BIB ID
- 028676683
-
- Text Lang
- ja
-
- NDL Source Classification
-
- ZP41(科学技術--金属工学・鉱山工学)
-
- Data Source
-
- NDL
- CiNii Articles