量子ビーム応用最前線 PBWで三次元微細加工技術の新地平を拓く
書誌事項
- タイトル別名
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- リョウシ ビーム オウヨウ サイゼンセン PBW デ 3ジゲン ビサイ カコウ ギジュツ ノ シンチヘイ オ ヒラク
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収録刊行物
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- 原子力eye
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原子力eye 53 (9), 48-51, 2007-09
東京 : 日刊工業出版プロダクション ; 1998-2011
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1523669554472512384
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- NII論文ID
- 40015601667
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- NII書誌ID
- AA11175919
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- ISSN
- 13433563
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- NDL書誌ID
- 8917658
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN36(科学技術--原子力工学・工業)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles