FIB加工技術の進歩とイオン顕微鏡としての応用
Bibliographic Information
- Other Title
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- FIB カコウ ギジュツ ノ シンポ ト イオン ケンビキョウ ト シテ ノ オウヨウ
- Progress on focused ion beam fabrication and scanning ion microscopy
- 解析技術特集
- カイセキ ギジュツ トクシュウ
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Journal
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- 新日鉄技報 / 新日本製鐡株式会社技術開発本部, 技術開発企画部 編
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新日鉄技報 / 新日本製鐡株式会社技術開発本部, 技術開発企画部 編 (390), 14-19, 2010
東京 : 新日本製鐵技術開発本部
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1523669554679514496
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- NII Article ID
- 40018273140
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- NII Book ID
- AN1036280X
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- ISSN
- 09167609
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- NDL BIB ID
- 10974311
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZP42(科学技術--金属工学・鉱山工学--鉄鋼)
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- Data Source
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- NDL Search
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