絶縁物ポリイミドのオージェ電子分光分析
書誌事項
- タイトル別名
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- ゼツエンブツ ポリイミド ノ オージェ デンシ ブンコウ ブンセキ
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説明
記事分類: 化学・化学工業--高分子化学・高分子化学工業--プラスチックス--熱硬化性樹脂
収録刊行物
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- 真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan
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真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan 28 (3), p131-139, 1985-03
東京 : 日本真空協会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1523669554873767168
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- NII論文ID
- 40001882176
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- NII書誌ID
- AN00119871
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- ISSN
- 05598516
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- NDL書誌ID
- 3020727
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN15(科学技術--機械工学・工業--流体機械)
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- データソース種別
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- NDLサーチ
- CiNii Articles