Si含有炭素系膜の機械的特性及び基材表面近傍における残留応力挙動
書誌事項
- タイトル別名
-
- Si ガンユウ タンソケイマク ノ キカイテキ トクセイ オヨビ キザイ ヒョウメン キンボウ ニ オケル ザンリュウ オウリョク キョドウ
- The Mechanical Properties of Si Content Carbon Film and Residual Stress Behavior in Surface of Substrate
この論文をさがす
収録刊行物
-
- 奈良県工業技術センター研究報告 = Report of Nara Prefectural Institute of Industrial Technology / 奈良県工業技術センター 編
-
奈良県工業技術センター研究報告 = Report of Nara Prefectural Institute of Industrial Technology / 奈良県工業技術センター 編 (37), 1-6, 2011
奈良 : 奈良県工業技術センター
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1523669555024825344
-
- NII論文ID
- 40019842369
-
- NII書誌ID
- AA11456088
-
- ISSN
- 13460749
-
- NDL書誌ID
- 024956793
-
- 本文言語コード
- ja
-
- NDL 雑誌分類
-
- ZM2(科学技術--科学技術一般--大学・研究所・学会紀要)
-
- データソース種別
-
- NDL
- CiNii Articles