デジタルスパッタ法を用いた光学膜成膜装置
書誌事項
- タイトル別名
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- デジタルスパッタホウ オ モチイタ コウガクマクセイマク ソウチ
- 特集 透明導電膜と新しい薄膜形成技術
- トクシュウ トウメイ ドウデンマク ト アタラシイ ハクマク ケイセイ ギジュツ
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収録刊行物
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- ディスプレイ = Monthly display : FPD・照明・太陽電池の総合技術情報誌 / 月刊ディスプレイ編集委員会 編
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ディスプレイ = Monthly display : FPD・照明・太陽電池の総合技術情報誌 / 月刊ディスプレイ編集委員会 編 11 (3), 56-62, 2005-03
東京 : テクノタイムズ社
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1523669555442113536
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- NII論文ID
- 40019856478
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- NII書誌ID
- AA11422144
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- ISSN
- 13413961
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- NDL書誌ID
- 024982705
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- データソース種別
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- NDLサーチ
- CiNii Articles
