マイクロ工具の刃先位置測定器の開発--光学的手法による工具刃先と被削材の直接検出

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  • マイクロ コウグ ノ ハサキ イチ ソクテイキ ノ カイハツ コウガクテキ シュホウ ニ ヨル コウグ ハサキ ト ヒサクザイ ノ チョクセツ ケンシュツ

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