超音波デバイス イオンビームエッチングによる水晶振動子の周波数変動
書誌事項
- タイトル別名
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- チョウオンパ デバイス イオン ビーム エッチング ニ ヨル スイショウ シンドウシ ノ シュウハスウ ヘンドウ
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収録刊行物
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- 超音波techno / 超音波techno編集部 編
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超音波techno / 超音波techno編集部 編 19 (4), 116-120, 2007
東京 : 日本工業出版
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1523669555518576256
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- NII論文ID
- 40015588688
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- NII書誌ID
- AN10068970
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- ISSN
- 09162410
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- NDL書誌ID
- 8900297
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM17(科学技術--科学技術一般--力学・応用力学)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles