書誌事項
- タイトル別名
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- ナノ リュウシ ノ ウェーハ エ ノ キュウチャク キョドウ ヒョウカ
- Behavior of adsorption of airborne nanoparticle on wafer
- 特集 第29回空気清浄とコンタミネーションコントロール研究大会 ショート論文集
- トクシュウ ダイ29カイ クウキ セイジョウ ト コンタミネーションコントロール ケンキュウ タイカイ ショート ロンブンシュウ
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収録刊行物
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- 空気清浄 : コンタミネーションコントロール
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空気清浄 : コンタミネーションコントロール 50 (6), 9-13, 2013
東京 : 日本空気清浄協会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1523669555752968576
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- NII論文ID
- 10031162856
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- NII書誌ID
- AN00065670
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- ISSN
- 00235032
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- NDL書誌ID
- 024642805
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN1(科学技術--建設工学・建設業)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles