自己整合バリアで配線の信頼性を改善する
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- ジコ セイゴウ バリア デ ハイセン ノ シンライセイ オ カイゼンスル
- Self-aligned barrier improves interconnect reliability
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- Semiconductor international. 日本版
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Semiconductor international. 日本版 5 (7), 26-30, 2008-07
東京 : リード・ビジネス・インフォメーション