スパッタ法によるチタン酸バリウム薄膜の作製と評価
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- スパッタホウ ニ ヨル チタンサン バリウム ハクマク ノ サクセイ ト ヒョウカ
- Deposition and Evaluation of Barium Titanate Thin Films Using Sputtering
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- 長野県工業技術総合センター研究報告
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長野県工業技術総合センター研究報告 (9), 63-65, 2014
長野 : 長野県工業技術総合センター
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1523669555904891776
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- NII Article ID
- 40020313512
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- NII Book ID
- AA12170965
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- ISSN
- 18813119
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- NDL BIB ID
- 026003761
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZM2(科学技術--科学技術一般--大学・研究所・学会紀要)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles
