位相同期ループを用いたヘテロダイン干渉計の位相補間法の開発
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- イソウ ドウキ ループ オ モチイタ ヘテロダイン カンショウケイ ノ イソウ ホカンホウ ノ カイハツ
- Phase interpolation method using phase-locked loop for heterodyne interferometer
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- 光計測シンポジウム論文集
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光計測シンポジウム論文集 17-19, 2019
東京 : 日本光学測定機工業会