Arガスクラスターを用いた低損傷有機物スパッタリング
Bibliographic Information
- Other Title
-
- Ar ガスクラスター オ モチイタ テイソンショウ ユウキブツ スパッタリング
- 表面分析研究会 第35回研究会 講演資料
- ヒョウメン ブンセキ ケンキュウカイ ダイ35カイ ケンキュウカイ コウエン シリョウ
Search this article
Journal
-
- Journal of surface analysis / 表面分析研究会 編
-
Journal of surface analysis / 表面分析研究会 編 17 (2), 2010-12
東京 : 表面分析研究会
- Tweet
Details 詳細情報について
-
- CRID
- 1523951029559425024
-
- NII Article ID
- 40017654094
-
- NII Book ID
- AA11448771
-
- ISSN
- 13411756
-
- NDL BIB ID
- 10957186
-
- Text Lang
- ja
-
- NDL Source Classification
-
- ZM35(科学技術--物理学)
-
- Data Source
-
- NDL
- CiNii Articles